[新聞] ASML在台研發2奈米光學設備 台經部：補助

https://www.epochtimes.com/b5/23/4/9/n13968932.htm ASML在台研發2奈米光學設備 台經部：補助最快5月拍板 【大紀元2023年04月09日訊】（大紀元記者侯駿霖台灣台北報導）半導體設備大廠艾司摩 爾（ASML）持續擴大對台投資，近期針對2奈米晶圓光學量測設備的研發製造，向經濟部 申請A+企業研發補助案。對此，台經濟部表示，審查重點包含如何協助供應鏈技術升級及 國產自製率等兩面向，最快會在5月定案。 新北市長侯友宜曾透露，艾司摩爾增加在台投資，第一期投資金額高達新台幣300億元， 預計落腳林口、約2千名員工進駐；針對2奈米晶圓光學量測設備，艾司摩爾去年也向經濟 部申請研發補助計畫，一旦審查通過，預計政府會有低於五成的補助。 經濟部指出，台廠供應鏈目前已具備深紫外光（DUV）設備中的光罩傳輸模組製造能力， 這次艾司摩爾計畫案包含晶圓傳輸模組，盼能藉此導入本土供應鏈。 經濟部表示，受惠艾司摩爾DUV光罩傳輸模組搬來台灣製造，成為全球唯一製造基地，帶 動台廠帆宣、公準及神詠等供應鏈廠商成長。因此，這次審查聚焦重點，將落在如何提升 本土技術與國產自製率。 經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發、前瞻產業技術開發，每年預 算約新台幣20億元，計畫吸引國際大廠來台研發生產；由於艾司摩爾申請案將進入第二階 段審查，經濟部預估在5月召開決審會議拍板，屆時補助金額將明朗化。◇ 責任編輯：玉珍 --
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推 l11111111 : 所以有什麼好處？ 04/09 21:29

推 samia28 : 侯友宜招商真的很有一套 04/09 21:36

→ ISCREDIBLE : 台灣給錢讓外國公司搶便宜人才？ 04/09 22:05

→ kenccc : 招商有一套的是GG 04/09 22:19

推 rry1234 : 企業來台招攬人才還有錢拿.. 04/09 23:26

→ Roslin : ASML有做光學量測?? 04/10 00:33

→ zzz499 : 傳輸模組不等於光學量…. 04/10 01:00

推 yukiinsummer: 笑死 04/10 01:17

→ great660i101: Yield star吧 忘記是不是這樣拼，買曝光機送的，不 04/10 01:48

→ great660i101: 過林口原本就有YS的DE的樣子 04/10 01:48

推 andylu1207 : 翻譯ASML： 台GG有輪班精英們幫我們做study 好舒服 04/10 01:54

推 maplefff : 好處在林口多了2000個職位... 04/10 02:54

→ maplefff : YieldStar以前是買DUV會送，現在是要另購了 04/10 02:55

→ maplefff : 某些指標已經超過KLA的機台 04/10 02:55

→ angelpeace : 漢微科打不過都被併掉了，ASML沒有量測？？？？ 04/10 06:13

推 louis1704 : 招商有一套的是GG+1 04/10 06:30

推 paramagnetic: ASML有另外一套在做E beam量測的機台啊…… 04/10 07:50

推 showermi : 從推文就知道有多少短視人 04/10 08:46

→ bnn : 他在台灣投資有就業數字有員工在地消費有啥問題 04/10 09:52

推 summer08818 : 好處是我前年買的房子 現在建商主打ASML要來了XD 04/10 10:26

→ summer08818 : 不只是增加就業消費 房價還會噴噴 04/10 10:27

推 alau : 招商是靠GG 04/10 10:44

→ botnet : 為什麼要補助啦 04/10 12:28

推 Roderickey : 政府拿員工的錢去補助外資? 04/10 13:06

推 mnb11338 : 補助個屁啊 04/10 14:14

推 justin200428: 中國快研發完成了 04/10 16:08

推 qwe172839 : E-beam算光學量測嗎…? 04/10 19:22

→ qwe172839 : 好啦轉成灰階勉強算 04/10 19:23

→ Roslin : e-beam叫檢測不叫量測 先搞清楚好嗎 04/10 20:48

→ Roslin : 連measurement和inspection都搞不清楚 別來鬧了 04/10 20:48

→ FuYen : e-beam可以inspection當然也可以metrology.... 04/10 21:32

→ FuYen : https://imgur.com/kjaxcHV 04/10 21:35

→ ericfrance2 : 齁力斯提克 04/10 23:04

→ Roslin : 哪一間fab用e-beam機台量inline CD 說來長個見識 04/10 23:26

→ FuYen : 我還想問哪家沒在用CD-SEM勒.. 04/11 00:54

推 qwe172839 : 一個說inspection 一個說SEM 都是電子束沒毛病 04/11 01:16

推 juangpeiyi : 所以KLA的ebi被ASML狂電之外 連光學也要被ASML追上 04/11 01:23

→ juangpeiyi : 了？ 04/11 01:23

→ juangpeiyi : 線上一堆CDSEM. FA裡面TEM SEM, GG無塵室內還放了TE 04/11 01:25

→ juangpeiyi : M FIB咧.... 04/11 01:25

推 vans24 : 2樓笑話不錯笑 04/11 11:06

→ Roslin : HMI機台沒人會說他是CDSEM...... 04/11 20:25

推 Roslin : e-beam也不叫光學…光學量測是OCD 04/11 20:36

→ MUMUKON : 龜山不是侯管的吧？ 04/11 20:58

→ kougousei : ASML以後要擴廠那塊在新北啊 04/11 21:18

→ kougousei : 不過想也知道這整件事不可能是他一個人搞定的 04/11 21:18