[請益] 半導体 薄膜量測儀器

看板 Tech_Job
作者 asd9 (ccj888)
時間 2024-01-07 14:07:38
留言 47則留言 (17推 0噓 30→)

請問各位做半導体的先進 薄膜製程中,量測厚度的儀器 一般測厚儀 ,是用X-ray 和α step是嗎? 金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎? 國內有那些推薦的廠商? 謝謝幫忙告之! --
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neil0611 : KLA… 01/07 14:09

ijk1 : 作業自己做 01/07 14:41

hmtsung : J.A.Woollam 01/07 14:46

say33520 : 能力好的,用文具店15公分就太夠了。 01/07 14:55

crayon56 : 我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚 01/07 14:56

Saynai : 橢偏儀廠商… 01/07 14:58

n00bmaster : 我都拿游標卡尺量 01/07 15:13

matsuzuki18 : 橢圓偏振儀 自己功課自己做 01/07 15:15

ehuman : 金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器 01/07 15:35

kyle5241 : XRR問題就是速度慢,雖然最準確。一般都是橢圓儀加 01/07 15:44

kyle5241 : 上機器學習,沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光 01/07 15:44

kyle5241 : 譜不知道要幹嘛而已 01/07 15:44

cyteric : Semilab 01/07 15:47

ssmmll : XRR可以量金屬,解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀 01/07 17:27

ssmmll : 可以測厚,也可以量Profile不一定要用machine lear 01/07 17:27

ssmmll : ning,RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS 01/07 17:27

ssmmll : METAPULSE 各有適合的應用,甚至電性厚度的量測都 01/07 17:27

ssmmll : 有,看人會不會用。 01/07 17:27

ssmmll : 能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求,才是最重 01/07 17:29

ssmmll : 要的 01/07 17:29

wzmildf : 老經驗的製程調機都用舔的 01/07 17:31

binco : 我都叫廠商幫量 01/07 18:27

Aixtron : 橢偏是高度技術活,除非有人已經幫您弄好recipe了! 01/07 19:35

Aixtron : 不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD 01/07 19:37

Aixtron : 有些用AFM也可以 01/07 19:38

douge : 橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a 01/07 20:08

douge : 不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎? 01/07 20:09

ssmmll : 膜厚妥偏原理還好,但是根據tune dispersion和實際 01/07 20:13

ssmmll : 應用也是需要考慮,包含Test pad設計。模擬軟體如 01/07 20:13

ssmmll : 果主管願意,廠商也會教一些基本功,可以靠著大量 01/07 20:13

ssmmll : 實戰獲得經驗,1D-3D都是。AFM局限性在於表面,速 01/07 20:13

ssmmll : 度,耗材,但是粗糙度和底層有光學需要decouple的 01/07 20:13

ssmmll : 應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec 01/07 20:13

ssmmll : t需要考驗test pad設計。 01/07 20:13

a865201233 : 我都用目測的 01/07 20:55

chengzai : 桌上J.A.Woollam,in line SEMILAB 01/07 22:57

kyle5241 : blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦~ 平面的確 01/08 06:33

kyle5241 : 看顏色就行 01/08 06:33

jyeabcb : 魯道夫 01/08 09:50

Aixtron : 橢偏有recipe就真的掃掃完事,全新材料有時不見得這 01/08 11:32

Aixtron : 麽容易! 01/08 11:33

Aixtron : 更不用說SOI上有多層膜,不曉得簡單在那裏? 01/08 11:37

Aixtron : 不過原理加大量實戰是沒錯的! 01/08 11:38

jim8596 : 菲希爾 01/08 12:17

jim8596 : 比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠 01/08 12:18

jim8596 : 買 01/08 12:18

ssmmll : dispersion 不容忽視阿 01/08 12:42

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