[新聞] 陸首台100％自產高端晶圓切割機問世

中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領 域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國 首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。 　大陸華工雷射半導體產品總監黃偉指出，半導體晶圓屬於硬脆材料，在12吋晶圓上有數千 顆甚至數萬顆晶片，晶圓切割和晶片分離無論採取機械或雷射方式，都會因物質接觸和高速 運動而產生熱影響和崩邊，從而影響晶片性能，因此，控制熱影響的擴散範圍和崩邊尺寸是 關鍵。 　黃偉說，機械切割的熱影響和崩邊寬度約20微米（0.001 公釐），傳統雷射在10微米左右 ；此外，切割線寬的減少，意味著晶圓能做到更高的集成度，從而使得半導體製造更經濟、 更有效率。 　去年起，黃偉團隊對半導體晶圓切割技術，展開微奈米級雷射加工的迭代升級、攻堅突破 ，「最忙時我們團隊20多人兩班倒輪流做測試實驗和產品優化，設備24小時不停。」 　經過一年努力，半導體晶圓切割技術成功實現升級，熱影響降為0，崩邊尺寸降至5微米以 內，切割線寬可做到10微米以內。 　按照生產一代、研發一代、儲備一代的理念，華工雷射正在研發具備行業領先水準的第三 代半導體晶圓雷射退火設備。 　2000年6月，頂著「中國雷射第一股」光環，華工科技在深交所上市。作為華中科技大學 校辦企業，依託大學在雷射領域的技術積累和研發優勢，以及資本市場的融資便利，華工科 技從銷售額不到億元人民幣的「小塊頭」，快速成長為首批大陸國家創新型企業。 　根據SEMI（國際半導體產業協會）數據，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021 年明顯提升，從21％提升至35％；大陸國內半導體設備在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP 領域內國產替代率 04:102023/07/12 旺報 李文輝╱綜合報導 https://www.chinatimes.com/amp/newspapers/20230712000663-260303 --
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→ sunnyhung : 贏了….... 07/16 20:37

推 qk3380888 : 贏麻了 07/16 20:41

推 Peter911 : 可是晶圓本身做不好是要拿什麼切? 07/16 20:42

推 Roken241225 : Disco: 07/16 20:46

推 roger2 : 說這麽多 還不就是Die saw機台 =.= 07/16 20:50

→ jjrdk : 大概就已知使用雷射而已 07/16 20:55

推 h9602b : 穩！ 07/16 20:56

推 godog : 中國大陸自己造 台灣用買的就好了 07/16 20:57

推 li118 : 慘了 準備要卡美國脖子了，中又贏 07/16 21:13

→ Peter911 : 要卡啥 切完良率會變高嗎 07/16 21:17

推 crystallake : 這跟兩個醫生用的那個會比較不痛嗎？！！！ 07/16 21:41

推 AXby : Disco表示 07/16 22:22

推 Merman19 : 都生不出先進製程了是要切個寂寞是嗎？ 07/16 22:28

推 zonppp : 中又贏 07/16 22:44

推 givered : die saw機台也可以吹，笑死 07/16 22:53

→ faniour : 懂割 07/16 23:15

推 mepass : 割的是韭菜吧 07/16 23:20

→ stocktonobrk: 團隊20多人...嗯,技術含量一定很高!!! 07/16 23:34

噓 jgoodman : 中或贏 07/16 23:52

噓 cityhunter04: 雷射切割機？這種東西要自己研究？ 07/17 00:10

噓 dearober : Dicing跟laser anneal是要吹什麼== 07/17 00:55

推 Madao0149 : 哪個晶圓廠良率的key在die saw? 07/17 01:21

→ WSY000000000: 雷射第一股？不是大族嗎？ 07/17 02:09

推 ab304044 : disco disco 讚讚～ disco disco 讚讚～ 07/17 03:39

推 lahugh : 超台趕歐美 世界第一 07/17 05:43

推 kyle5241 : 但如果可以做出高品質雷射退火的話是不錯 目前要做 07/17 05:55

→ kyle5241 : 出穩定雷射其實蠻困難的 07/17 05:55

推 Akitsukineko: 做出die saw是不是可以贏過dyson？ 07/17 06:27

推 michelin4x4 : 中國在雷射領域 算是不落後的 07/17 06:58

推 viewer1946 : https://i.imgur.com/x7lUiOu.jpg 07/17 07:02

→ GGing : 做出 die saw 應該贏大創 daiso 了 07/17 07:04

→ laechan : 中或贏 07/17 07:36

推 BosRedsucks : 贏麻了 07/17 07:49

推 lin77616 : 卡什麼脖子，不會自己生喔。 07/17 07:59

→ Akitsukineko: 老鼠脖子 07/17 08:01

推 smalljacky03: 中又贏 07/17 09:26

推 qwe172839 : 下次就改吹P&P了 笑死 07/17 12:24

推 tokeyohop : 晶圓晶片設計做不起來 做個晶圓切割能幹嘛 ？一種 07/17 13:01

→ tokeyohop : 沒有米有電鍋的概念 07/17 13:01

推 venomsoul : Disco: 好喔 07/17 13:40

推 kkk99923 : 算不錯吧 任何人都有起步的時候 07/17 14:53

→ guteres : 該怕的是當他們全部都可以自己做出來的時候 07/17 20:38

→ geniusw : 笑死 中或大贏！ 07/17 22:50

推 yudofu : 難道會覺得中國應該要一個開發完再作下一個的瀑布式 07/18 00:08

→ yudofu : 開發嗎，笑死，人家是壞不是笨。 07/18 00:08

推 wcre : 好歹是自己研發技術，把解放軍破2000億鎂的預算移 07/18 10:01

→ wcre : 部分來做啊 07/18 10:01